TP200

Описание

В датчике TP200 используются миниатюрные тензометрические преобразователи, обеспечивающие превосходную повторяемость и точность трехмерных измерений даже при использовании длинных щупов. Использование тензоэлементов дает субмикронную повторяемость срабатывания и отсутствие лепесткового эффекта на диаграмме направленности, который присущ механическим датчикам. Использование СБИС типа ASIC гарантирует надежность датчика при количестве срабатываний, превышающем миллион.

В датчике TP200B используется та же технология, что и в модели TP200, однако он отличается повышенной вибростойкостью. Благодаря этой особенности уменьшается вероятность ложного срабатывания, вызываемого вибрациями датчика, которые передаются через элементы конструкции КИМ или возникают при использовании более длинных щупов и позиционировании с высокой скоростью.

Приложение

Особенности и преимущества:

  • использование тензоэлементов обеспечивает превосходную повторяемость и высокую точность при измерении трёхмерных объектов;
  • отсутствие ошибок при возврате датчика в исходное положение;
  • отсутствие лепесткового эффекта;
  • возможность измерений в 6 направлениях;
  • использование щупов длиной до 100 мм (серия GF);
  • быстрая автоматическая смена контактных модулей без повторной калибровки датчика;
  • срок службы >10 миллионов срабатываний.

Технические характеристики

 

Технические характеристики

TP200

TP200B

Основное назначение

КИМ с автоматическим управлением и повышенными требованиями к точности измерений

аналогично TP200, но в тех случаях, когда велика вероятность ложных срабатываний

Направление измерений

6 осей: ±X, ±Y, ±Z

6 осей: ±X, ±Y, ±Z

Однонаправленная повторяемость (2σ)

уровень срабатывания 1

0,40 мкм

0,40 мкм

уровень срабатывания 2

±0,50 мкм

±0,50 мкм

Отклонение при измерениях формы XY (2D)

уровень срабатывания 1

±0,80 мкм

±1 мкм

уровень срабатывания 2

±0,90 мкм

±1,2 мкм

Отклонение при измерениях формы XYZ (3D)

уровень срабатывания 1

±1 мкм

±2,50 мкм

уровень срабатывания 2

±1,40 мкм

±4 мкм

Повторяемость при смене модулей щупов

автоматический режим

±0,50 мкм (макс.)

±0,50 мкм (макс.)

ручной режим

±1 мкм (макс.)

±1 мкм (макс.)

Усилие срабатывания (в точке касания наконечника щупа)

плоскость XY (все модули)

0,02 Н

0,02 Н

ось Z (все модули)

0,07 Н

0,07 Н

Усилие при перебеге (при смещении 0,5 мм)

плоскость XY (модуль SF / EO)

от 0,2 Н до 0,4 Н

от 0,2 Н до 0,4 Н

плоскость XY (модуль LF)

от 0,1 Н до 0,15 Н

от 0,1 Н до 0,15 Н

ось Z (модуль SF / EO)

4,90 Н

4,90 Н

ось Z (модуль LF)

1,60 Н

1,60 Н

Масса (установочно-измерительный и контактный модули)

22 г

22 г

Удлинитель, макс. длина (при установке в головку серии PH10 PLUS)

300 мм

300 мм

Макс. рекомендуемая длина щупа (щупы серии M2)

модуль SF / EO

от 50 мм, сталь, до 100 мм, GF

от 50 мм, сталь, до 100 мм, GF

модуль LF

от 20 мм, сталь, до 50 мм, GF

от 20 мм, сталь, до 50 мм, GF

Магазин для смены контактных модулей

автоматический режим

SCR200

SCR200

ручной режим

MSR1

MSR1

Метод монтажа

Резьба M8

Резьба M8

Серия щупов

М2

М2